��Ӱ댧�w�ИI����ˮˮ�|Ҫ��
ʲô�dz���ˮ?
����ˮ��UPW���dz��˚��x���c���x�ӣ����]���κ������s�|��ˮ��
“����”���{��ˮ��̎����������Ⱦ����͵�����ȣ��ͳ��õ��g�Zȥ�x�ӣ�DI��ˮ��ͬ�����˳�Ҏ�ı���늽��|������ָ�ˣ�늌��ʻ�����ʣ��⣬�������õIJ�ͬ߀�����ЙC�͟o�C������ܽ���w�����|���������ܽ���w��ָ�ˡ�
����ˮ�����c�͑����I��
����ИI��̫��ܹ������ˎ���l늡��о������
����ˮ������ИI�г��õ��g�Z�����������ИI�T��̫��ܹ������ˎ���l��Լ��о�����ҵ�Ҳ��ʹ�õ����mȻÿ���ИI��ʹ�����^��“����ˮ”�����|���˜ʸ�����ͬ����ʹ������ИI�У���ͬ�����T��댧�w��Һ����弰���N���Ԫ����������ˮ��Ҫ��Ҳ������ͬ�����а댧�w�д�����“����ˮ”ʹ�õ���ߵȼ����@Ҳ���҂��ڴ�ҪӑՓ�ă��ݡ�
�댧�w����ˮ��ˮ�|Ҫ��
���H�댧�w�O�估���υf��(International Association of Semiconductor of Equipment and Materials, SEMI) , ��˜����°汾��SEMI F63-0918
���H�댧�w���g·���D(International Technology Roadmap for Semiconductor, ITRS) , ��˜����°汾��2015 ITRS
���������cԇ�f����American Society for Testing Materials, ASTM������˜����°汾��ASTM D5127-13(2018)
��һ���Ї�����ڽ���12�����M�Ƴ̾��A�S����������ˮƷ�|Ҫ�_�����¿��̵�Ҫ��
�댧�w����ˮϵ�y�ǹ��Iˮ̎��ϵ�y���OӋʩ�������s�������x������v�����\�п�����龫�ܵ�ϵ�y�������˱������ϵ�y�����܆�Ԫ������ϵ�y�����댧�w����ˮ���Ƃ��^�̿�����“ǧ�N�ٟ�”�����ݡ�
�I���в�ͬ�ķ�ʽ���댧�w����ˮϵ�y���ֳɲ�ͬ����ϵ�y���@��会�֞��A̎�������}ˮ����ˮ��ѭ�h���⼰���������ϵ�y��
�A̎��ϵ�y
ȥ��ԭˮ�еđҸ����w����ȡ��z�w��������ЙC����s�|�����ּ�������p�p���m̎���Ԫ��ؓ�ɣ����C�䷀����Ч�\�С�
���õĹ��܆�Ԫ�ж���|�^�V�����V������̿�^�V��ܛ���ȣ����г��V��ɴ������|�^�V���¼��g�����������һЩ�Ŀ�ϳɹ����ã��c���y����|�^�V��ȣ�����ռ����eС���^�V���ȸߣ���ˮˮ�|�������Ԅӻ��̶ȸߵ����c��
�ԶŰ�ˮ̎����Q�����ij��VĤԪ��SFP-2880XP�����������öŰ����µ�XP���VĤ���칤ˇ���B�����35%���^�V����0.03μm������Чȥ���Ҹ��w�����z�w����������ԭ�w����ˮ���ʼ�K��0.1NTU֮�£���֧��ЧĤ��e77ƽ���ף�̎��ˮ����ռ����eС��
���}ˮϵ�y
ȥ���^��������}�֣��ЙC�P��늽��|�衢��ȡ������ЃɷN;�����Ԍ��F����ǰ�ڰ댧�w����ˮϵ�y���Ҋ����ʹ���x�ӽ��Q��ˇ��
Plan A
���x�ӽ��Q��ˇ�У��քeʹ����x�ӽ��Q�����Q��x�ӣ���x�ӽ��Q�����Q��x�ӡ��ЙC�P��늽��|�衢��ȡ��ڃɂ����Q���g����ˮ�|�M�ɿ��x��ʹ��Ó���b��ȥ���ܽ�CO2�� �Խ�����x�ӽ��Q����ؓ�ɡ�
�ڴˆ�Ԫ�У����������Įaˮˮ�|�����P�I��ָ�ˣ�ͬ�r�\�гɱ�Ҳ�dz���Ҫ�����M�Ҵ���ˇ����Փ��AMBERPACK߀��UPCORE���dz��õ��c���σɂ�Ŀ�˲��\���ϣ��ɞ�댧�w����ˮ�г��}ˮ��ϵ�y�����x��
��ʹ�öŰ�ˮ̎����Q������Amberlite HPR�x�ӽ��Q��֬��AMBERPACK�M�Ҵ���������ˮ늌���С��1μs/cm�������ͣ�ˮ����Ч�ʴ���95%��������������Ȃ��y�����������ɹ�ʡ15-30%��
Plan B
��һ�N��ʽ��ʹ�÷��BĤ���������Mˮ�}�����S��������ռ����eС��ģ�K���OӋ���\�S�Ԅӻ��̶ȸߵ����c�����ˑ����У�Ҫ�eע�ⷴ�B���ЙC�P�ض����|�������𣩵�Ó��Ч�����Ć��}���Ű�ˮ̎����Q�������]ʹ�ø�Ó�}�ķ��BĤ�폛�a�@����IJ��㣬��FILMTEC ECOϵ�з��BĤ��
��ˮϵ�y
���M�볬��ˮ�����K��ѭ�h�����ǰ���Mһ������ˮ�|�������ЙC��w���P�ض����|��ָ�ˣ��_��������Ͻӽ���Kˮ�|Ҫ���^��ϵ�y��һ��Ҫ�_������ʴ���18 MΩ?cm��TOC�ڎׂ�ppb֮�ȣ���С��50ppt��
�Ҋ��ˇ�M���Ƿ��BĤ + �������촲 + Ó�⣬���@����BĤ���x�ӽ��Q��֬�ļ���Ҫ����ߣ�����ʡ���ܳ���ጷŵ��s�|�O�٣����Է��BĤһ����ʹ��ǰҪ�M���~��ě_ϴ̎����ֱ���x�ð댧�w����SG grade���ķ��BĤ���x�ӽ��Q��֬Ҳ����ˡ�
�Ű��ˮ���Ŀ�������x�ӽ��Q��֬AMBERJET™ UP1400 ����x�ӽ��Q��֬AMBERJET™ UP4000���˾��зdz������ij�Ҏ�����⣬�����ļ�����Ҳ�dz����������ߴ��䑪���ڰ댧�w����ˮ�����촲�У���֬�_ϴ�ܿ�����_���ҷ���������ʴ���18 MΩ?cm��TOCС��<2ppb�ij�ˮˮƽ��
ѭ�h����ϵ�y
����ˮ�c֮ǰ��ʹ�ßύ�Q�����⡢��֬������Ó�⼰�����^�V���ֶΣ��_����K�㶨�ضȡ��㶨�������㶨ˮ�|��Ŀ�ˡ���鳬��ˮ�����|�dz����S���o���o�B���棬���ڒ���ϵ�y�г���ˮ�Բ���ă���ѭ�h�ķ�ʽ�������伃���ȣ��ʷQ֮��ѭ�h����ϵ�y��
�������֬���q��һ��“������”���������������ϣ�������ˮ���Mһ�����Ƶ����ã��ԑ���ˮ�|���ڃȵļ����ӣ��M��K�ˌ�����ʡ�TOC���衢���x��ָ�˵ĺ㶨Ҫ��
�������@��IJ��������Ē���촲��֬����Ҫ���ИO�ߵļ����ȣ���Ҫ���Ќ������x�Ӽ���Ⱦ��ܸߵ��x��������ȥ��Ч����
�Ű��Ʒ�İ댧�w����ˮ�����������Ē���촲��֬AMBERJET™ UP6040����������TOC���w����ጷŘO�ͣ�ͬ�r�aˮ�н^��������x�ӿ����_���z�y����ppt���e��������й¶һ��Ҳ��50ppt���¡�
������촲��֬��ʹ����һ���`�^���J��ǰ��ϵ�y̎��Ч����]���Pϵ����K�Ē���촲����Q���еĆ��}�����Գ��F�ĬF���ǣ��K�˵�ˮ�|���r���ӣ������֬�����s�̣����˱��Cˮ�|�����ò��l�����Q�����֬������ʹ�ö༉����̎����
���ˣ��Ű�ˮ̎����Q�����Ľ��h�ǣ�
ǰ���Ԫ���\���c�����һ����Ҫ���M��һ��ָ�˵�ˮ�|�����M�뒁��Σ�������r����̎��һ�����ӣ�ʼ�K��ӛ���⾫�ƻ촲ֻ��“������”��
����AMBERJET™ UP6040�����]���Mˮˮ�|�飺
�����: > 17 MΩ?cm
��: < 2 ppb
TOC: < 15 ppb
����ϵ�y
ͨ�^��Ч��ˮ����C�ƣ���������ռ����a�^���б��^�坍��ˮ�����ղ����鳬��ˮϵ�y���aˮѭ�h���á�
�ڰ댧�w���F���lչ�Ď�ʮ��������칤ˇ�л��՛_ϴˮ���鳬��ˮϵ�y�aˮһֱ�������Ą��黯�W��������w����Ⱦ����K���ص�����ˮ�Е����®aƷ��ȱ�ݡ�
ֱ�����������ˮ�YԴ�ɱ��������Լ��ŷŷ�Ҏ�����������ʹ���a�̲�������Ͷ�룬����ˮ�Ļ����c̎����
���^�������������ǰ���^����ɿ������������IJ����ǣ�
���շdz��Ƀ��ĺ���_ϴˮ���鳬��ˮϵ�y���aˮ��
̎���ж���Ⱦ��ǰ���_ϴˮ��������ˮ���^������̎����ʹ�ã�
�ռ��ض���Ⱦˮ̎�����_���ŷţ�
��s�����Ѓrֵ�Ļ��Wˎ����
���У����V�����B���x�ӽ��Q��֬���dz�ʹ�õ���̎���ֶΡ�
�Ű�ˮ̎����Q�����ij��V�����B���x�ӽ��Q��֬�����ˮ̎�����ĮaƷ�����v�˳���ˮ�ИI�ęz��ȫ���ȫ@���˺ܸߵ��Ј�ռ���ʺ��J�ɶȣ�ͬ�r�{���˵��аl�����M�����a�����m�����댧�w������������ИI�İlչ���Ϻ��������h������˾�����϶Ű�ĺ�����飬�҂������ƏV���N�۶Ű�V�����BĤ���x�ӽ��Q��֬��